氣體質(zhì)量流量控制器-基于層流壓差式的專(zhuān)業(yè)解析

氣體流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一種用于精確控制氣體流量的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領(lǐng)域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關(guān)工藝的效率與質(zhì)量。

易度智能作為國(guó)產(chǎn)自研層流原理的MFC制造商，以其技術(shù)和產(chǎn)品性能成為行業(yè)的獨(dú)角獸。小編從專(zhuān)業(yè)視角詳細(xì)解析基于層流壓差原理的MFC核心技術(shù)、工作機(jī)制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)。

1. 層流的基本特性

層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài)，在層流狀態(tài)下，氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設(shè)計(jì)提供了理論基礎(chǔ)。

2. 壓差式測(cè)量的實(shí)現(xiàn)

層流壓差式MFC通過(guò)以下關(guān)鍵組件實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量：

層流元件：精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)確保氣體在通過(guò)時(shí)保持層流狀態(tài)。

壓差傳感器：自研高靈敏傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量層流元件兩端的壓差值。

計(jì)算方式：測(cè)量出壓差后就可以根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量。

易度智能層流質(zhì)量流量計(jì)及控制器的核心優(yōu)勢(shì)

3. 國(guó)產(chǎn)自研！

易度智能是國(guó)內(nèi)第—家獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準(zhǔn)證書(shū)的企業(yè)，也是有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的制造商。其產(chǎn)品補(bǔ)充了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的技術(shù)空白，具備可平替進(jìn)口設(shè)備的能力。

4. 高精度與高穩(wěn)定性

量程范圍廣：高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求，適應(yīng)多樣化的工況場(chǎng)景。

測(cè)控精度：高精型產(chǎn)品測(cè)量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以?xún)?nèi)，重復(fù)性達(dá)到±0.1%，在行業(yè)中處于上游水平。

溫度壓力補(bǔ)償：內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器，通過(guò)實(shí)時(shí)修正，保證不同環(huán)境條件下的精確測(cè)量。

5. 嚴(yán)苛的質(zhì)量保障

核心部件自主研發(fā)：所有關(guān)鍵組件均為自主設(shè)計(jì)與制造，確保質(zhì)量可控，可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品。

疲勞與耐久測(cè)試：每款產(chǎn)品需通過(guò)數(shù)千萬(wàn)次疲勞測(cè)試，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

廣泛氣體兼容性：內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，用戶(hù)可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體，開(kāi)機(jī)即測(cè)，無(wú)需轉(zhuǎn)換系數(shù)。

基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應(yīng)和可靠性在工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)重要地位。易度智能以國(guó)產(chǎn)自研，超高技術(shù)和高可靠性產(chǎn)品，為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。