防爆型氣體質(zhì)量流量控制器的特點

層流壓差式防爆型的質(zhì)量流量控制器的工藝結(jié)構(gòu)及特點

耐腐蝕材料與密封優(yōu)化

材料選擇：采用316L不銹鋼流道，其低碳含量與鉬元素增強了抗點蝕和晶間腐蝕能力，適用于Cl?、H?S等腐蝕性介質(zhì)環(huán)境。

密封技術(shù)：關(guān)鍵密封點使用FFKM全氟醚橡膠或PTFE材質(zhì)，耐受強酸、強堿及有機溶劑，漏率控制在1×10?10 Pa·m3/s以下，避免介質(zhì)泄漏導(dǎo)致的部件失效。

層流元件與傳感技術(shù)

層流元件：強制流體進入雷諾數(shù)Re<2000的層流狀態(tài)，通過哈根-泊肅葉定律實現(xiàn)流量計算。

雙通道壓差傳感：結(jié)合溫度補償模塊修正粘度變化誤差，典型精度可達(dá)±0.5%讀數(shù)精度重復(fù)性達(dá)±0.1%滿量程精度。

模塊化與智能集成

通訊接口：支持RS485、4-20mA、0-5V等多種信號輸出，便于集成到自動化系統(tǒng)。

觸屏操作與數(shù)據(jù)管理：配備觸控屏實現(xiàn)氣體介質(zhì)切換、混合比例調(diào)整，并提供上位機軟件實時監(jiān)控與數(shù)據(jù)下載。

環(huán)境適應(yīng)性與耐用性

寬溫寬壓設(shè)計：工作溫度范圍-20℃~60℃，耐壓達(dá)2.5MPa，適用于苛刻的工業(yè)環(huán)境。

抗電磁干擾：金屬外殼設(shè)計提升抗干擾能力，確保復(fù)雜環(huán)境下的穩(wěn)定性。

易度智能的層流壓差式產(chǎn)品及技術(shù)優(yōu)勢

核心產(chǎn)品系列

EC標(biāo)準(zhǔn)型：量程0.5sccm~5000SLPM，精度±1.0%讀數(shù)，內(nèi)置70+種氣體參數(shù)，支持任意角度安裝，適用于實驗室與工業(yè)場景。

EC高精型：精度提升至±0.5%，耐壓1.5MPa，內(nèi)置70多種氣體，適用于半導(dǎo)體工藝與新能源電池電解液灌裝。

P300便攜式：配備充電電池，續(xù)航15小時，支持無電源環(huán)境下的戶外測量，響應(yīng)時間<0.1秒。

技術(shù)創(chuàng)新與性能亮點

算法補償：通過壓力、溫度傳感器的實時補償，降低漂移量（如零點漂移<0.1%FS），提升長期穩(wěn)定性。

多氣體兼容：支持70余種氣體及混合氣體測量，用戶可自定義氣體參數(shù)，擴展應(yīng)用場景。

快速響應(yīng)：部分型號響應(yīng)時間<0.2秒，滿足半導(dǎo)體薄膜沉積、燃料電池測試等快速控制需求。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：精準(zhǔn)控制蝕刻氣體（如Cl?、SF?）流量，適配5nm以下制程要求。

新能源與環(huán)保：用于氫氧燃料電池動態(tài)配比、煙氣脫硫系統(tǒng)監(jiān)測及鋰電電解液灌裝。

生物制藥：滿足無菌環(huán)境下笑氧混合氣體的亞秒級響應(yīng)控制需求。

三、易度智能的認(rèn)證資質(zhì)與行業(yè)地位

國內(nèi)認(rèn)證與標(biāo)準(zhǔn)參與

通過中國計量科學(xué)研究院認(rèn)證，是國內(nèi)唯—通過該認(rèn)證的層流質(zhì)量流量計制造商。

參與編撰《流量測量技術(shù)全書》及制定《層流流量計型評大綱》《層流流量計檢定規(guī)程》等國家標(biāo)準(zhǔn)。

國際認(rèn)可與市場布局

產(chǎn)品銷往歐洲、北美、東南亞等地區(qū)，技術(shù)指標(biāo)對標(biāo)國際品牌，量程覆蓋0.1SCCM~20000SLPM，耐壓達(dá)2.5MPa。

行業(yè)影響力

作為國內(nèi)第—家具備通用型層流流量計量產(chǎn)能力的企業(yè)，技術(shù)積累深厚，產(chǎn)品應(yīng)用于西北工業(yè)大學(xué)等科研機構(gòu)及多家世界500強企業(yè)。

總結(jié)

層流壓差式質(zhì)量流量控制器的改進重點在于材料耐腐蝕性、傳感精度及環(huán)境適應(yīng)性，而易度智能憑借自主研發(fā)的算法補償技術(shù)、多氣體兼容性及模塊化設(shè)計，在半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著競爭力。其產(chǎn)品通過認(rèn)證并參與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定，技術(shù)指標(biāo)接近甚至超過國際水平。