易度智能適用半導體高精度質量流量控制器

易度智能適用半導體高精度質量流量控制器向對精度有更高需求的客戶提供計量級的精度（±0.5%讀數精度），通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了更高性能。同時，內置4種標況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量、累計流量五大參數。

易度智能適用半導體高精度質量流量控制器特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊操作、讀取流量，或者提供上位機軟件操作。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置70+種氣體，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數

l 可測量混合氣體，設置混合氣體編輯功能

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

產品規格：

l 產品型號：

S200-帶觸摸屏高精度流量計，可觸屏操作讀取數據，方便工況現場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數：

l 精度：±0.5%RD

l 重復精度：±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S.

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應時間：100ms

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 壓損：4kPa~12kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 流量標準臺的標準表、流量校準臺的比對、量值傳遞、實驗室設備的流量校準等

l 稀有氣體局部或整體系統流量使用量的監控、貿易結算等

l半導體行業等

特點為帶有觸摸屏可直接讀取參數，滿足高精度工況環境下流量測量需求，適用于流量校準、計量等工況場景。