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應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器

簡要描述:易度智能MC100系列,是一款應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器,其可用多種氣體。層流壓差原理使得產品具有較高的可靠性和穩定性。內置高精度的溫度和壓力傳感器,確保產品具有極低的溫漂和壓漂,長期穩定性較好,產品連續在線工作控制準確度和穩定性好。

  • 產品型號:MC100
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-06-27
  • 訪  問  量:729

詳細介紹

品牌易度智能應用領域醫療衛生,食品/農產品,化工,制藥/生物制藥,電氣
精度±1.0%S.P.重復精度±0.2%F.S.
工作流量范圍1%~100%F.S.介質溫度-20℃~60℃
環境溫度-20℃~50℃使用濕度0%~98%(無冷凝)
工作壓力0-1MPa供電電壓24V±20%
量程范圍0.5sccm~500slpm

易度智能MC100系列,是一款應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器,其可用多種氣體,具有高精度、高重復性、快速響應、高穩定性等優勢。


特征:

l 原理:層流壓差式原理

l 便捷操作:提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢:單機可用多種氣體,較快的響應時間,并且可以設定后自主運行的性能

l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置70多種氣體,簡單切換氣體,無需查找、輸入系數,可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間,開機即可使用,減少貴重氣源浪費。



產品規格:

l 產品型號:MC100

l 量程范圍:0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類:N/C(常閉型)


性能參數:

l 精度:±1.0%S.P.(設定值)(20%~100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%~10%量程范圍)

l 重復精度:±0.2%F.S.

l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100kPaA;    Span:≤±0.2%F.S./100kPaA(基準100kPaA)

l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃;             Span:≤±0.02%F.S./℃(基準溫度25℃)

l 零點漂移:±0.2%F.S./年

l 工作范圍:1%~100%F.S.

l 響應時間:≤700ms.

l 啟動預熱時間:1s


使用條件:

l 介質溫度:-20℃~60℃

l 環境溫度:-20℃~50℃

l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)

l 工作壓力:0~1Mpa

l 耐壓:1.5Mpa

l 工作壓差范圍:100kPa~600kPa

l 供電電壓:24V±20%

l 消耗電流:<500mA (<12V)

l 安裝方式:任意角度

l 接氣部材質:SUS316L

l 進出口:管螺紋(內螺紋)

l 接氣部密封材質:橡膠圈密封:氟橡膠


通訊方式:

l 數字信號:RS485,Profibus

l 模擬信號:4-20mA,0-5V


應用場景

l 金剛石生產過程中的氣體流量控制

l CVD設備中的氣體流量控制

l 化學氣相沉積中的氣體流量控制


MC100應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器內置多種氣體,方便用戶使用。快速響應可迅速糾偏,抗氣源壓力波動,層流壓差原理使得產品具有較高的可靠性和穩定性。內置高精度的溫度和壓力傳感器,確保產品具有極低的溫漂和壓漂,長期穩定性較好,產品連續在線工作控制準確度和穩定性好



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