應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器

易度智能MC100系列，是一款應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器，其可用多種氣體，具有高精度、高重復性、快速響應、高穩定性等優勢。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢：單機可用多種氣體，較快的響應時間，并且可以設定后自主運行的性能

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置70多種氣體，簡單切換氣體，無需查找、輸入系數，可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，減少貴重氣源浪費。

產品規格：

l 產品型號：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數：

l 精度：±1.0%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA；    Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基準100kPaA)

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~600kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 金剛石生產過程中的氣體流量控制

l CVD設備中的氣體流量控制

l 化學氣相沉積中的氣體流量控制

MC100應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器。內置多種氣體，方便用戶使用。快速響應可迅速糾偏，抗氣源壓力波動，層流壓差原理使得產品具有較高的可靠性和穩定性。內置高精度的溫度和壓力傳感器，確保產品具有極低的溫漂和壓漂，長期穩定性較好，產品連續在線工作控制準確度和穩定性好。