高精型氣體層流質(zhì)量流量計(jì)

——計(jì)量級(jí)精度的高精型流量計(jì)

S200高精型氣體層流質(zhì)量流量計(jì)向?qū)扔懈咝枨蟮目蛻籼峁┯?jì)量級(jí)的精度等級(jí)（±0.5%讀數(shù)精度），通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了更高性能。同時(shí)，內(nèi)置4種標(biāo)況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力、標(biāo)況流量、工況流量、累計(jì)流量五大參數(shù)。

量程范圍：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：層流壓差式流量計(jì)

l 觸屏操作：自由實(shí)現(xiàn)更改氣體介質(zhì)、調(diào)整混合氣體比例和修改部分參數(shù)信息

l 高精度：±0.5%讀數(shù)精度

l 高重復(fù)性：±0.1%F.S.

l 寬溫度、壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示5種過(guò)程變量

l 內(nèi)置49種氣體和混氣測(cè)量

使用條件：

l 精度：±0.5%RD（20%～100%量程范圍）或 ±0.1％F.S.（≤20%量程范圍）（RD-讀數(shù) F.S.-滿量程）

l 重復(fù)性：±0.1%F.S.

l 溫度漂移：Zero：≤±0.01%F.S./℃；Span：≤±0.01%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 壓力漂移：Zero：≤±0.02%F.S./100Kpa；Span：≤±0.02%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 工作流量范圍：1%~120%F.S.

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：24V ±20%

l 消耗電流：＜150mA   (供電電壓為24v時(shí))

l 安裝方式：任意角度

l 進(jìn)出口：內(nèi)螺紋（管螺紋）

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

應(yīng)用場(chǎng)景

l 流量校準(zhǔn)：流量校準(zhǔn)臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)表、流量校準(zhǔn)臺(tái)的比對(duì)、量值傳遞、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的流量校準(zhǔn)等

l 計(jì)量：稀有氣體局部或整體系統(tǒng)流量使用量的監(jiān)控、貿(mào)易結(jié)算等

S200高精型氣體層流質(zhì)量流量計(jì)適用于對(duì)流量計(jì)精度有更高需求的客戶，具有高精度和高重復(fù)性。